ダイヤモンド半導体
高級な宝石として知れているダイヤモンドですが、電子デバイスの材料としても期待されている材料なんです。ダイヤモンドはバンドギャップ5.47 eVの間接遷移型の半導体で、電子移動度と熱伝導率が高いことが特..
タグ： ダイヤモンド CMP ワイドギャップ半導体 結晶成長
ウェットプロセス
半導体プロセスの分類には、真空中でガスやプラズマにより処理を行うドライプロセスと、純水や溶液により処理を行うウェットプロセスという分け方があります。液体は不純物やパーティクルを持ち込みやすく管理が難し..
タグ： CMP 集積回路 液浸露光 めっき
