ウェットプロセス
半導体プロセスの分類には、真空中でガスやプラズマにより処理を行うドライプロセスと、純水や溶液により処理を行うウェットプロセスという分け方があります。液体は不純物やパーティクルを持ち込みやすく管理が難し..
タグ： CMP 集積回路 液浸露光 めっき